探针台
CGO-高低温真空探针台

温度范围77K-675K(液氮);

可应用于真空及常规环境;

超高温度分辨率;

特殊客制低温系统;

具有极高稳定性


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CINDBEST CGO-4 | 2"~6" 高低温真空探针台测试系统



特点/应用


◆ 2至6英寸样品台


◆ 高真空腔体


◆ 防辐射屏设计,样品温度均匀性更好


◆ 77K-675K高低温环境


兼容IV/CV/RF测试


◆ 外置多探针臂,移动行程大


◆ 经济实用,可无缝升级



极低温测试:

因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。


高温无氧化测试:

当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。

    晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。


腔体规格:

型号

CGO-2/CGO-4/CGO-6

样品台尺寸

2英寸/4英寸/6英寸

样品固定

弹簧压片

观察窗口

2英寸/4英寸/6英寸

真空度

10-6torr

探针臂接口

4~6个探针臂接口

其他接口

电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

制冷方式

液氮/液氦/制冷机

温度范围

77K到573K/4.5K到573K

温控精度

0。1K/0。01K/0。001K

稳定性

±1K/±0。1K/±0。01K

外形

880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高

重量

约100千克/120千克


光学系统:

显微镜类型

单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移动行程

水平360度旋转,Z轴行程50。8mm

光源

外置LED环形光源/同轴光源

CCD

200万像素/500万像素/1200万像素


探针臂:

X-Y-Z移动行程

50mm*50mm*50mm

结构

外置探针臂,真空波纹管结构

移动精度

10微米/1微米

线缆

同轴线/三轴线/射频线

漏电精度

10pA/100fA/10fA

固定探针

弹簧固定/管状固定

接头类型

BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

频率支持

DC-67GHZ

针尖直径

0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米


其他组件:

真空组件

分子泵组/机械泵/离子泵

冷源组件

50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机


可选附件

超高温配件

显示器

转接头

射频测试配件

屏蔽箱

光学平台

镀金卡盘

光电测试配件

高压测试配件

分子泵组

激光系统

气敏测试配件



规格及设计如有更改,恕不另行通知。


版权所有:深圳市森东宝科技有限公司


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